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GPC Y ASOCIADOS S.A.

Veléz Sarsfield 201640 Martinez

Buenos Aires

Tel.: +54 (9) 11 5993 8719

info@gpcasoc.com.ar

Horne Technologies cc

PO Box 536

Betty's Bay, 7141

Tel.: +27 (0)76 563 2084

info@hornet.cc

www.hornetechnologies.co.za

FAULHABER MINIMOTOR SA

Zona Artigianale 8, Madonna del Piano

6980 Croglio

Tel.: +41 (0)91 611 31 00

info@faulhaber.ch

Gebäude von FAULHABER MICROMO LLC, Wien, Austria

FAULHABER MICROMO LLC

14881 Evergreen Avenue

Clearwater, FL 33762-3008

Tel.: +1 (727) 572 0131

marketing@micromo.com

www.faulhaberUSA.com

NRC Engineering & Precision Drives Co., Ltd.

17F., No. 890, Jingguo Rd., Luzhu Dist.

Taoyuan City 33858, Taiwan, R.O.C.

Tel.: +886 (0) 3-316-1838

info@nrc.com.tw

www.nrc-precidrives.com

EDEL Teknoloji Sistemleri Sanayi ve Ticaret Ltd.Şti

Folkart TowersAdalet Mah.Manas Blv. No:47B/2809

35530 Bayraklı/İzmir

Tel.: + 90 232 215 08 91

info@edelteknoloji.com

www.edelteknoloji.com

FAULHABER Asia Pacific Pte Ltd.

Blk 67 Ubi Road 1, #06-07 Oxley Bizhub

Singapore 408730

Tel.: +65 6562 8270

info@faulhaber.com.sg

Compotech Provider AP

Gustavslundsvägen 145, 4 tr

167 51 Bromma

Tel.: +46 (0) 8 441 58 00

info@compotech.se

www.compotech.se

MICROPRIVOD Ltd.

56 (bldg. 32), Shosse Enthusiastov

111123 Moscow

Tel.: +7 495 2214 052

info@microprivod.ru

www.microprivod.ru

FAULHABER Polska sp. z o.o.

Ul. Górki 7

60-204 Poznan

Tel.: +48 61 278 72 53

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Staubo Elektro-Maskin a.s.

Bjørnerudveien 12C

1266 Oslo

Tel.: +47 22 75 35 00

post@staubo.no

www.staubo.no

FAULHABER Malaysia Sdn Bhd

1A-2-01 & 02 · One Precinct · Lengkok Mayang Pasir

11950 Bayan Baru · Penang · Malaysia

Tel.: +60 4 619 2570

info@faulhaber.my

Swiss Amiet Co., Ltd.

W-903, SK V1 Center, 11 Dangsan-ro 41-g

Yeongdeungpo-gu,07217, Seoul

Tel.: +82 (0) 2 783 4774

info@swissamiet.com

www.swissamiet.com

Shinkoh Electronics Co., Ltd.

Tokyo Sales Office, Motor Sales Division8F, REID-C OMORI building, 6-20-8

Minami-oi, Shinagawa-ku, Tokyo 140-0013

Tel.: +81 (0) 3 6404 1003

motor-info@shinkoh-elecs.co.jp

www.shinkoh-faulhaber.jp

FAULHABER Italia S.r.l.

Via Cavour 2

22074 Lomazzo CO

Tel.: +39 0236714708

info@faulhaber-italia.it

Inteltek Automation JV

S.No. 100/5, Ambegaon

Pune - 411046

Tel.: +91 (0) 20 39392150

info@inteltekindia.com

www.inteltekindia.com

Lewenstein Technologies Ltd.

1 Ha'arava St. Givat Shmuel

5400804 Israel

Tel.: +972 3 9780 800

info@l-tech.co.il

www.l-tech.co.il

Electro Mechanical Systems Ltd.

Eros House, Calleva Industrial Park, Aldermaston

Reading, RG7 8LN

Tel.: +44 (0) 118 9817 391

info@ems-ltd.com

www.ems-limited.co.uk

FAULHABER France SAS

Parc d’activités du Pas du Lac2, Rue Michaël Faraday

78180 Montigny-le-Bretonneux

Tel.: +33 (0) 1 30 80 45 00

info@faulhaber-france.fr

www.faulhaber.com

ELMEQ Motor

Passeig Ferrocarrils Catalans 178

Cornellà de Llobregat 08940 (Barcelona)

Tel.: +34 93 422 70 33

marketing@elmeq.es

www.elmeq.es

MOVETEC OY

Suokalliontie 9

01740 Vantaa

Tel.: +358 (0) 9 5259 230

info@movetec.fi

www.movetec.fi

Routech s.r.o.

Dr. Milady Horákové 185/66

460 06 Liberec

Tel.: +420 489 202 971

info@routech.cz

www.routech.cz

Compower ApS

Marielundvej 29

2730 Herlev

Tel.: +45 (0) 44 92 66 20

info@compower.dk

www.compower.dk

Marte Científica e Instrumentação Industrial Ltda

Av Fco Andrade Ribeiro 430

37540-000 Santa Rita do Sapucai, MG

Tel.: +55 (11) 3411 4500

motores@marte.com.br

www.marte.com.br

FAULHABER Drive System Technology (Taicang) Co., Ltd.

Eastern Block, Incubator Building, No. 6 Beijing Road West

Taicang 215400, Jiangsu Province

Tel.: +86 (0) 512 5337 2626

info@faulhaber.cn

FAULHABER Benelux B.V.

High Tech Campus 9

5656 AE Eindhoven

Tel.: +31 (0) 40 85155-40

info@faulhaber.nl

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High Tech Campus 9

5656 AE Eindhoven

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FAULHABER Austria GmbH

Modecenterstraße 22/C89

1030 Wien

Tel.: +43 1 7963149-0

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ERNTEC Pty. Ltd.

15 Koornang Road

Scoresby, VIC 3179

Tel.: +61 (0) 3 9756 4000

sales@erntec.com.au

www.erntec.net

Headquarter

DR. FRITZ FAULHABER GMBH & CO. KG

Daimlerstr. 23

71101 Schönaich

Tel.: +49 7031 638 0

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Jan-Christopher Mohr

Area Sales Manager

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Regional Sales Manager

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rolf.leitner@faulhaber.ch

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Area Sales Manager

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Beijing Office

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Bürstenlose Motoren in Antriebe für die Bearbeitung von Waferscheiben

Sensorelemente werden heute in großen Stückzahlen benötigt. Nur die möglichst weit gehende Automatisierung des Fertigungsprozesses erlaubt eine kostengünstige Herstellung. Viele dieser Massenartikel müssen später sicherheitsrelevante Aufgaben übernehmen, beispielsweise ABS-Sensoren, Beschleunigungssensoren und andere. Darum steht Qualität an vorderster Stelle. Bisher wurden die Siliziumwafer von Hand in eine so genannte Dose eingelegt und verschraubt. Nur exakt im Träger ausgerichtete Scheiben können im weiteren Fertigungsprozess geätzt werden. Da die Wafer in diesem Schritt schon einen erheblichen Wert darstellen, ist größte Vorsicht im Umgang mit ihnen angebracht. Der Schichtbetrieb rund um die Uhr verteuert die manuellen Arbeiten zusätzlich.

Hohe Ansprüche

Der Spezialist für Handlingsanlagen in der Elektronikfertigung INGENIA hat deshalb einen speziell auf die Chipfertigung ausgelegten Montageautomat entwickelt. Um den Belangen des oft individuellen Fertigungsbetriebes gerecht zu werden, sind die Automaten am Handlingkonzept des jeweiligen Kunden ausgerichtet. Die Anforderungen an ein solches Handlingsystem sind enorm: Neben der Dauerbelastung des Drei-Schicht-Betriebes muss auch noch die Sicherheit und eine exakte Positionierung auf Dauer gewährleistet sein. Um den teuren Siliziumwafer optimal zu ätzen, ist es wichtig, ihn lagerichtig exakt in die Dose für die spätere Weiterverarbeitung einzulegen und diese zu verschrauben.
Werden nicht Standard-ICs sondern Sensor- oder Mikromechanik-Chips gefertigt, sind die Ansprüche an die Handhabung noch höher. Hier wird im Gegensatz zu üblichen Speicherchips oder CPUs der Wafer von beiden Seiten bearbeitet. Nur so lässt sich die filigrane Struktur der mechanischen Elemente mit der notwendigen Elektronik optimal kombinieren. Da in der Fertigung keine Handlingsfachleute und Antriebsspezialisten arbeiten, muss die Einrichtung und Wartung der Anlage und ihrer Antriebe sehr einfach sein. Nur so kann auch im laufenden Betrieb schnell nachgeregelt und optimiert, oder nach Unterbrechungen die Anlage schnell wieder angefahren werden. So senkt eine einfache Handhabung auch die Betriebskosten einer Anlage.

Bürstenlose Motoren in Antriebe für die Bearbeitung von Waferscheiben
Ein Schrittmotor übernimmt die exakte Ausrichtung der Waferscheiben
Bürstenlose Motoren in Antriebe für die Bearbeitung von Waferscheiben

Sicher eingelegt

Wie überall in der Automatisierung gilt auch in der Chipfertigung der Grundsatz einer möglichst anpassungsfähigen Auslegung der Produktionsmittel. Ein Mix aus Standard-bauteilen und speziellen Lösungen erlaubt daher ein optimales Handling. Das Gerät übernimmt alle Arbeitsschritte, von der Ausrichtung der Scheiben, der Bestückung der Trägerrahmen, bis hin zur Ablage der bestückten Rahmen. Dabei werden alle Montageschritte in einer Ebene ausgeführt.
Für die Zuführung der Wafer und die Lagerung der fertig in der Dose montierten Wafer sorgen Hubgreifer. Um bei Stromausfall die Sicherheit und exakte Position sowie die CE-Konformität sicherstellen zu können, werden in diesen gefährdeten Anlagenteilen Motoren mit angebauter, kompakter Haltebremse eingesetzt. So ist ein teurer Crash sicher ausgeschlossen. Der hohe Taktzyklus, wie er in der Elektronikfertigung Standard ist, verlangt zudem nach leistungs- und drehmomentstarken Motoren. Trotz der hohen Dynamik muss aber exakt positioniert werden. Die eigentliche Ausrichtung der Wafer in der Dose selbst und die Verschraubung erfordern nicht so hohe Kräfte, sind aber genauso kritisch bei der Positionierung. Schließlich soll der Wafer genau zentrisch liegen, um optimale Flächennutzung zu garantieren. Die Schrauben des Rahmens schließlich müssen nicht nur alle genau an Ort und Stelle eingesetzt werden, sie müssen auch alle exakt gleichmäßig angezogen sein, um Abweichungen durch Verzug des Rahmens oder nicht ganz bündig sitzende Schraubenköpfe auszuschließen.

Bürstenlose Motoren in Antriebe für die Bearbeitung von Waferscheiben
Bürstenlose Motoren in Antriebe für die Bearbeitung von Waferscheiben
Schnell & sicher – der Transport der Trägerrahmen mit dem Hubgreifer

Flexible Antriebe

Aus diesen Gründen setzt der Anlagenhersteller verschleißfreie elektronisch kommutierte Gleichstrommotoren ein. Die EC-Motoren des Kleinmotorenspezialisten FAULHABER erfüllen mit ihrem umfangreichen Steuerungs- und Getriebeprogramm die gestellten Aufgaben perfekt. Motoren der Baureihe 3056 eignen sich für die Anlagenteile mit hohem Beschleunigungs- und Drehmomentbedarf. Diese Motoren entwickeln bei nur 30mm Durchmesser und 56mm Länge ein Dauerdrehmoment von bis zu 21,5 mNm (Anhaltemoment bis 100mNm), bei einer Abgabeleistung von 49W. Die Motoren sind für Versorgungsspannungen von 12, 24, 36 oder 48VDC erhältlich. Die Drehzahl kann über optionale Getriebe der Reihe 30/1 oder 38/1 leicht angepasst werden. Über die analogen Hallsensoren der Motoren und den darauf abgestimmten Motion Controller MCBL 2805 kann das dynamische Kraftpaket kontrolliert werden. Die größeren Motoren der Typenreihe 3564 können wahlweise mit integriertem Motion Controller eingesetzt werden. Dies erlaubt einen besonders kompakten Antrieb mit 35mm Durchmesser bei 83mm Gesamtlänge, inklusive Steuerung. Trotzdem erreicht der EC-Motor 70 W Abgabeleistung und ein Spitzendrehmoment von 160 mNm (Dauerdrehmoment 50 mNm). Auch hier erlauben angepasste Getriebe, Drehzahl und Drehmoment anwendungsspezifisch zu reduzieren.

In der Ausführung 3564 K 024 BC integriert der elektronisch kommutierte Servomotor einen hochauflösenden Ist-wertgeber und einen programmierbaren Positions- und Drehzahlregler mit leistungsfähigem 16-Bit Controller. Drehzahlregelung von 10 bis 10.000 U/min, Drehzahlprofile wie Rampe, Dreieck, Trapez- oder Positionierbewegungen mit Auflösungen bis 1/1000 Umdrehungen sind möglich, auch Referenzmarken und Endschalter können abgefragt werden. Ein Selbstschutz gegen Übertemperatur, Überlast oder Überspannung im Generatorbetrieb ist integriert. Neben dem au-tarken Einsatz erlaubt eine RS232-Schnittstelle auch einen extern überwachten Einsatz. Der Betrieb mehrerer Motoren an einer Schnittstelle ist möglich, indem adressiert wird. Eine Multiplexerplatine ist dafür erhältlich.

Das Zusammenspiel von flexiblen Antriebskonzepten und ideenreichen Anlagenlösungen erlaubt auch in der Elektronikfertigung eine Reduzierung der Fertigungskosten bei gleichzeitig erhöhter Qualität der Fertigung. Moderne Antriebslösungen bringen dabei exakt geregelt alle Handlingsobjekte schnell und sicher ans Ziel.

FAULHABER B

3056 ... B

2-Pol-Technologie

Datenblatt (PDF) Produktdetails
FAULHABER B

3564 ... B

2-Pol-Technologie

Datenblatt (PDF) Produktdetails

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