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Bâtiment de FAULHABER MICROMO LLC, Wien, Austria

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17F., No. 890, Jingguo Rd., Luzhu Dist.

Taoyuan City 33858, Taiwan, R.O.C.

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EDEL Teknoloji Sistemleri Sanayi ve Ticaret Ltd.Şti

Folkart TowersAdalet Mah.Manas Blv. No:47B/2809

35530 Bayraklı/İzmir

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FAULHABER Asia Pacific Pte Ltd.

Blk 67 Ubi Road 1, #06-07 Oxley Bizhub

Singapore 408730

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Compotech Provider AP

Gustavslundsvägen 145, 4 tr

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MICROPRIVOD Ltd.

56 (bldg. 32), Shosse Enthusiastov

111123 Moscow

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FAULHABER Polska sp. z o.o.

Ul. Górki 7

60-204 Poznan

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Staubo Elektro-Maskin a.s.

Bjørnerudveien 12C

1266 Oslo

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FAULHABER Malaysia Sdn Bhd

1A-2-01 & 02 · One Precinct · Lengkok Mayang Pasir

11950 Bayan Baru · Penang · Malaysia

Tel.: +60 4 619 2570

info@faulhaber.my

Swiss Amiet Co., Ltd.

W-903, SK V1 Center, 11 Dangsan-ro 41-g

Yeongdeungpo-gu,07217, Seoul

Tel.: +82 (0) 2 783 4774

info@swissamiet.com

www.swissamiet.com

Shinkoh Electronics Co., Ltd.

Tokyo Sales Office, Motor Sales Division8F, REID-C OMORI building, 6-20-8

Minami-oi, Shinagawa-ku, Tokyo 140-0013

Tel.: +81 (0) 3 6404 1003

motor-info@shinkoh-elecs.co.jp

www.shinkoh-faulhaber.jp

FAULHABER Italia S.r.l.

Via Cavour 2

22074 Lomazzo CO

Tel.: +39 0236714708

info@faulhaber-italia.it

Inteltek Automation JV

S.No. 100/5, Ambegaon

Pune - 411046

Tel.: +91 (0) 20 39392150

info@inteltekindia.com

www.inteltekindia.com

Lewenstein Technologies Ltd.

1 Ha'arava St. Givat Shmuel

5400804 Israel

Tel.: +972 3 9780 800

info@l-tech.co.il

www.l-tech.co.il

Electro Mechanical Systems Ltd.

Eros House, Calleva Industrial Park, Aldermaston

Reading, RG7 8LN

Tel.: +44 (0) 118 9817 391

info@ems-ltd.com

www.ems-limited.co.uk

FAULHABER France SAS

Parc d’activités du Pas du Lac2, Rue Michaël Faraday

78180 Montigny-le-Bretonneux

Tel.: +33 (0) 1 30 80 45 00

info@faulhaber-france.fr

www.faulhaber.com

ELMEQ Motor

Passeig Ferrocarrils Catalans 178

Cornellà de Llobregat 08940 (Barcelona)

Tel.: +34 93 422 70 33

marketing@elmeq.es

www.elmeq.es

MOVETEC OY

Suokalliontie 9

01740 Vantaa

Tel.: +358 (0) 9 5259 230

info@movetec.fi

www.movetec.fi

Routech s.r.o.

Dr. Milady Horákové 185/66

460 06 Liberec

Tel.: +420 489 202 971

info@routech.cz

www.routech.cz

Compower ApS

Marielundvej 29

2730 Herlev

Tel.: +45 (0) 44 92 66 20

info@compower.dk

www.compower.dk

Marte Científica e Instrumentação Industrial Ltda

Av Fco Andrade Ribeiro 430

37540-000 Santa Rita do Sapucai, MG

Tel.: +55 (11) 3411 4500

motores@marte.com.br

www.marte.com.br

FAULHABER Drive System Technology (Taicang) Co., Ltd.

Eastern Block, Incubator Building, No. 6 Beijing Road West

Taicang 215400, Jiangsu Province

Tel.: +86 (0) 512 5337 2626

info@faulhaber.cn

FAULHABER Benelux B.V.

High Tech Campus 9

5656 AE Eindhoven

Tel.: +31 (0) 40 85155-40

info@faulhaber.nl

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FAULHABER Austria GmbH

Modecenterstraße 22/C89

1030 Wien

Tel.: +43 1 7963149-0

info@faulhaber-austria.at

ERNTEC Pty. Ltd.

15 Koornang Road

Scoresby, VIC 3179

Tel.: +61 (0) 3 9756 4000

sales@erntec.com.au

www.erntec.net

Headquarter

DR. FRITZ FAULHABER GMBH & CO. KG

Daimlerstr. 23

71101 Schönaich

Tel.: +49 7031 638 0

Fax: +49 7031 638 100

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Jan-Christopher Mohr

Ingénieur Technico-Commercial

Tel.: +49 (7031) 638 158

jan-christopher.mohr@faulhaber.de

Jens-Uwe Henke

Ingénieur Technico-Commercial

Tel.: +49 (7031) 638 441

jens-uwe.henke@faulhaber.de

Daniel Brönnimann

Ingénieur Technico-Commercial

Tel.: +41 (0) 79 570 0814

daniel.broennimann@faulhaber.ch

Majid Charif

Ingénieur Technico-Commercial

Tel.: +41 (0) 79 372 0999

majid.charif@faulhaber.ch

Rolf Leitner

Ingénieur Technico-Commercial

Tel.: +41 (0) 79 422 3348

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Andreas Knebel

Ingénieur Technico-Commercial

Tel.: +49 (7031) 638 159

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Michael Schütte

Ingénieur Technico-Commercial

Tel.: +49 (7031) 638 456

michael.schuette@faulhaber.de

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Ingénieur Technico-Commercial

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Thomas Kraus

Ingénieur Technico-Commercial

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Beijing Office

East 10H3 Wu Mart Huike Mansion Building, No. 158 W. 4th Ring Road North

Haidian District, Beijing 100097

Tel.: +86 (0)10 5335 9353

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Guangzhou Office

Room 1415, No. 5 Fuchang Road

Haizhu District, Guangzhou, 510240, Guangdong Province

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Xi‘an Office

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Qujiang New District, Xi’an 710061, Shaanxi Province

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Kwun Tong, Kowloon

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Moteurs brushless des entraînements pour le traitement de wafers

De nos jours, les éléments capteurs sont des produits dont on a besoin en grand nombre. Ce n'est qu'en en automatisant le processus de fabrication que l'on peut les fabriquer à prix avantageux. Pour beaucoup d'entre eux, ces articles de masse sont prévus pour être employés dans des missions de sécurité, comme c'est le cas notamment dans les capteurs ABS ou les capteurs d'accélération. C'est la raison pour laquelle la qualité est toujours au premier plan. Jusqu'à présent, les wafers en silicium étaient posés et fixés à la main dans un support. Seules les plaquettes alignées avec précision peuvent être gravées dans la suite de la fabrication. Comme les wafers ont déjà une certaine valeur à cette étape, il va sans dire qu'ils doivent être traités avec le plus grand soin, et la nécessité de travail en trois-huit augmente encore le prix de la main d'œuvre.

Exigences élevées

Le spécialiste des installations de manutention pour la production électronique INGENIA a donc développé un automate de montage conçu spécialement pour la fabrication de puces. Pour pouvoir répondre au mieux aux besoins souvent individuels de l'entreprise de production, les automates s'alignent sur le concept de manutention de chaque client. Les exigences qu'un tel système de manutention doit remplir sont de taille : outre leur sollicitation continue en trois-huit, la sécurité et l'exactitude du positionnement doivent être parfaitement garantis en permanence. Pour une gravure optimale du wafer en silicium, il est important pour la suite de son traitement qu'il soit posé dans le bon sens et avec précision dans le support avant de le fixer.
Et la manutention doit satisfaire à des exigences encore plus élevées pour la fabrication de puces pour capteurs ou micro-mécaniques, et non de circuits standard. Contrairement aux puces à mémoire ou aux CPU courants, le wafer est dans ces cas traité des deux côtés. C'est là le seul moyen de combiner au mieux la structure filiforme des éléments mécaniques avec l'électronique nécessaire. Comme aucun spécialiste ni de la manutention ni des entraînements ne travaille autour de la production des wafers, la mise en place et l'entretien de l'installation et de ses entraînements doivent être très simples. En effet, il faut pouvoir rapidement optimiser et adapter les réglages en fonctionnement ou redémarrer l'installation après une interruption. Une manipulation permet d'ailleurs de réduire également les coûts d'exploitation d'une installation.

Moteurs brushless des entraînements pour le traitement de wafers
Un moteur pas-à-pas se charge de l'alignement précis des wafers
Moteurs brushless des entraînements pour le traitement de wafers

La pose sûre

Comme partout quand il s'agit d'automatisation, le principe de base de la fabrication des puces se trouve dans la conception la plus adaptable possible des moyens de production. La combinaison de composants standard et de solutions spéciales permet une manipulation optimale. L'appareil se charge de toutes les étapes du travail, depuis l'alignement des plaquettes jusqu'au dépôt du support fini, en passant par leur équipement. Ce faisant, toutes les étapes de montage sont réalisées à un seul niveau.
Des préhenseurs se chargent de l'alimentation en wafers et du stockage des wafers terminés montés dans leur support. Afin de garantir la sécurité et l'exactitude du positionnement ainsi que la conformité CE en cas de panne de courant, les moteurs mis en place dans ces parties fragiles des systèmes disposent de freins d'arrêt compacts qui permettent d'éviter les crashs coûteux. La haute cadence de fabrication, telle qu'elle règne dans la production de pièces électroniques, impose en outre que les moteurs soient performants et présentent un couple élevé. Malgré la grande dynamique du système, le positionnement doit être précis. L'alignement à proprement parler du wafer dans le support et sa fixation ne demandent pas d'efforts importants, mais leur positionnement est critique. En effet, le wafer doit être parfaitement centré pour pouvoir garantir une utilisation optimale de la surface. Enfin, les vis du cadre doivent non seulement toutes être bien en place, mais elles doivent aussi être serrées uniformément afin d'éviter tout écart dû, par exemple, à des déformations du cadre ou à des têtes de vis qui ne seraient pas parfaitement noyées.

Moteurs brushless des entraînements pour le traitement de wafers
Moteurs brushless des entraînements pour le traitement de wafers
Rapide & sûr – le transport des supports au moyen du préhenseur

Entraînements flexibles

Pour toutes ces raisons, le fabricant des systèmes a décidé de se servir de moteurs C.C. à commutation électronique qui ne s'usent pas. En combinaison avec les électroniques de commande et réducteurs de la gamme étendue du spécialiste des petits entraînements, les moteurs EC de FAULHABER remplissent parfaitement la mission qui leur est confiée. Les moteurs de la série 3056 sont adaptés pour les parties du système dont les besoins en termes d'accélération et de couple sont élevés. Avec un diamètre de seulement 30mm et une longueur de 56mm, ces moteurs sont capables de produire un couple continu de jusqu’à 21,5 mNm (couple à l'arrêt jusqu'à 100mNm) pour une puissance utile de 49W. Ils sont disponibles avec des tensions d'alimentation de 12, 24, 36 ou 48VDC. La vitesse de rotation peut être légèrement adaptée grâce à des réducteurs des séries 30/1 ou 38/1 en option. Les capteurs analogiques à effet Hall des moteurs et le contrôleur de mouvement MCBL 2805 qui leur est parfaitement accordé permettent de contrôler le condensé de puissance dynamique. Les moteurs plus grands de la série 3564 peuvent être employés au choix avec un contrôleur de mouvement intégré. On obtient ainsi un entraînement particulièrement compact d'un diamètre de 35mm pour une longueur totale de 83mm, électronique de commande incluse. Malgré ces petites dimensions, le moteur EC atteint une puissance utile de 70 W et un couple de pointe de 160 mNm (couple continu 50 mNm). Là encore, des réducteurs adaptés permettent de réduire la vitesse de rotation et le couple pour les adapter aux besoins de l'application.

Dans le modèle 3564 K 024 BC, le servomoteur à commutation électronique comprend un transmetteur de valeur réelle de haute résolution et un régulateur programmable de position et de vitesse avec contrôleur 16 bits performant. Une régulation de la vitesse de 10 à 10.000 tours/min, des profils de vitesse en rampe, triangle ou trapèze ou des mouvements de positionnement à des résolutions allant jusqu'à 1/1000 tours sont possibles. Des marques de référence et des interrupteurs de fin de course peuvent également être consultés. Une autoprotection contre la surchauffe, la surcharge ou la surtension en mode générateur est intégrée. Outre l'emploi autonome, une interface RS232 permet encore l'utilisation avec surveillance externe. Le fonctionnement avec plusieurs moteurs reliés à une même interface est possible à l'aide d'un adressage. Une carte de multiplexage est également disponible à cette fin.

La coopération de concepts d'entraînement flexibles et de solutions système pleines d'idées permet de réduire les coûts de production jusque dans la fabrication de pièces électroniques, tout en conservant une qualité élevée de la production. Pour cela, en s'aidant d'une régulation précise, les solutions modernes d'entraînement mènent les objets de manutention de façon précise et sûre à leur but.

FAULHABER B

3056 ... B

Technologie 2-pôles

Fiche technique (PDF) Détails sur le produit
FAULHABER B

3564 ... B

Technologie 2-pôles

Fiche technique (PDF) Détails sur le produit

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